
參數(shù)
可靠的AutoID用于元素識別;準(zhǔn)確的定量-所有計數(shù)率;峰值偏移和分辨率變化穩(wěn)定保證在1,000到100,000 cps之間;以非常高的計數(shù)率進(jìn)行全面的軟件校正,包括堆積校正;集成的分析硬件鏈,可以實現(xiàn)快速、可靠的分析性能
X射線能譜分析,簡寫EDS,通常通過配合掃描電子顯微鏡與透射電子顯微鏡的使用,是用來對材料微區(qū)成分元素種類與含量進(jìn)行分析:利用電子束與物質(zhì)作用時產(chǎn)生的特征X射線,來提供樣品化學(xué)組成方面的信息,可定性、半定量檢測大部分元素(Be4-PU94),可進(jìn)行表面污染物的分析。
適用標(biāo)準(zhǔn)
GB/T 17359-2012 微束分析 能譜法定量分析